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深圳技术大学微纳工艺平台

发布人：  |  发布时间：2023-04-07

深圳技术大学微纳工艺平台

 

EBL


 

LPCVD


 

激光直写


 

磁控溅射


 

Stepper


 

电子束镀膜


 

ICPCVD


 

ICP刻蚀机


 

接触式光刻机


 

AFM


 

X-Ray CT