科学研究

半导体微纳加工中心

半导体微纳加工中心是深圳技术大学"十四五"期间重点建设的公共服务平台,是粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造平台,也是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台,为深圳市"光载信息"和"智能传感"产业高质量发展提供关键支撑,筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

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