半导体微纳制作中心

高校、企业、政府融合创新平台

一、项目背景：

            平台组织架构：

 

          包含光刻、刻蚀、薄膜、测试、封装、失效分析等功能模块，及厂务系统维护和安全管理机制。

 

 建设产教融合微纳工艺平台：

1、深圳技术大学支持集成电路学科建设的重大项目

2、深圳市发改委立项的校企合作和产教融合项目

3、计划总投资3.4亿元，建设洁净室2100m2，设备100余台套。

 

             

负责人：

 

阮双琛 教授

管委会主任

深圳技术大学校长。主要从事超快光学理论和器件的设计与研制工作。入选中科院“百人计划”、新世纪百千万人才工程国家级人选。享受国务院政府特殊津贴。获国家科技进步三等奖1次，省部级科技进步一等奖1次、二等奖4次、三等奖3次，省部级自然科学三等奖1次，深圳市科技进步奖一等奖、科技创新奖及自然科学奖各1次，中国光学工程学会科技创新发明一等奖和二等奖各1次，中国电子学会科技发明三等奖1次。

 

宁存政 讲席教授

中心主任

深圳技术大学讲席教授。曾任美国NASA研究中心资深科学家，纳米项目主管，清华大学教授、美国亚利桑那州立大学教授、中组部“千人专家”。长期从事纳米光子学及半导体光电子学物理及器件方面的理论及实验方面的研究工作，致力于在硅基底上实现光电子的高效集成，是国际上公认的纳米半导体激光领域开拓者之一，并在纳米光电子学方面取得多项国际第一。美国国家发明家科学院成员、IEEE Fellow、OSA Fellow、The Electromagnetic Academy Fellow。

 

二、深圳技术大学微纳工艺平台概况：

借鉴国内外先进平台经验，建设高水平微纳工艺平台

设立专用产业化区，强化服务企业产品研发功能

教学培训、科研支撑、产业服务有机结合

规模适中，总投资3.4亿元，建设洁净室2100m2，设备100余台套。

 

 借鉴国内外先进平台经验，建设高水平微纳工艺平台

1、洁净室设计采用专业性和灵活性相结合的思路，同时满足高校教学科研，以及产业支撑服务的需求。

                         

       2、工艺设备3亿元人民币，涵盖原型研发线、小量试产线、教学和培训线等。

               

  

        3、以工艺平台为核心，吸引工艺技术专家和相关企业，紧跟政府产业规划，围绕新技术开发，开展全方位、立体的合作模式。                

 

 

 

 

三、构建“产-学-研-政”一体化公共技术服务平台：

服务地方产业：

原型器件工艺研发

 

小量试产工艺

 

国产材料及装备工艺验证平台

 

企业人才微纳加工、光电芯片、MEMS、集成电路芯片设计等技术培训基地

 

行业专利及标准化工作信息平台

 

光电芯片产业共性技术研究