光电芯讲坛第二讲——伍祥辰博士：关于大规模集成电路芯片的缺陷检测技术与检测设备的国产化的讲座

    2022年12月14日，德国斯图加特大学电子工程博士伍祥辰博士受邀来到集成电路与光电芯片学院做学术报告。

    伍博士担任苏州睿仟科技有限公司总经理，目前主要从事高速高精度的显微光学检测设备的研发与生产，主要产品为病理癌细胞智能检测系统和大规模集成电路检测设备，伍博士从企业和技术的角度出发为老师和同学们讲解大规模集成电路芯片的缺陷检测技术与检测设备的国产化。

    上午10时论坛准时开始，伍博士首先为我们分析了半导体行业的背景，得出结论：我国在集成电路的进口商品占比数额小，集成电路是国家重视的战略产业，对国民经济影响大。

    伍博士结合自身的工作经验，为师生们分析了检测装备的市场容量和高端检测装备的状况，当前国外垄断严重，国内市场占比份额较小，国内企业还有很大的进步空间。

    随后，伍博士为师生们介绍缺陷检测设备和缺陷检测技术，包括晶圆缺陷检测硬件系统的组成和核心技术，其中核心技术包括：高分辨率、大视场、低像差的成像系统和高速图像采集；实时图像处理；缺陷检测。伍博士着重分析了光学成像系统中的核心技术自动聚焦系统，明/暗场成像系统和图像处理算法。伍博士表示，他们的产品可以检测到微小的缺陷，可见光下分辨率可达0.1微米。伍博士接着结合自己的工作经历向大家分享了做算法的经验：每个人都有自己专长的本行，但是也要擅于学习其他领域的东西，善于发现问题并解决问题。

    最后，伍博士分享了平台技术的运用以及与企业合作取得的一些成果，启发鼓励同学们努力学习专业知识。伍博士表示除了攻克技术外，做产品最大的挑战便是经济效益，需要思考如何在合理的成本下研发产品。

    讲坛结束后，宁存政院长与伍博士进行了深入的讨论。王志忠副院长提及到同学们正在学习信号与系统这门课程，希望伍博士提供一些学习的建议，伍博士告诉同学们要学好傅里叶变换。老师和同学们兴趣浓厚并积极地提出自己关心的问题，伍博士逐一进行了详细解答。

    报告结束后，伍博士和师生们合影留念，并表达了对同学们的赞赏和对集成电路与光电芯片学院的期待，希望与学院开展更多合作。