发布人: | 发布时间:2026-05-28
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十几年前,宁存政教授刚回国时发现,在国内研发一颗普通光电芯片,往往需要跨越多个平台、协调多家单位,耗费数月时间才能完成加工与测试流程。工艺链分散、跨平台协同困难,长期制约着我国高端光电芯片研发。
也正因此,他一直希望建设一个现代化、完整化、职业化运营的半导体工艺与测试平台。如今,这个梦想终于在深圳技术大学落地。特别是随着AI大模型、数据中心和高速光互连需求快速增长,集成光电子芯片技术正成为支撑下一代AI算力的重要基础设施,而这个平台的建设,更显得正当其时。
4年多来,在广东省、深圳市的大力支持下,深圳技术大学集成电路与光电芯片学院围绕“半导体微纳加工中心和测试实验平台”建设,组建起一支60余人的半导体与光电子专业团队,建成了深圳市唯一的集“设计—制造—测试”于一体的完整化合物半导体光电芯片研发平台,为大湾区集成电路与光载信息产业发展奠定了重要基础。
宁存政,深圳技术大学讲席教授,IEEE Fellow、OSA Fellow,曾任NASA资深科学家、美国亚利桑那大学终身教授、清华大学教授,是国际光电领域的重要领军人之一。
他认为,高水平半导体平台不仅服务科研,更应服务产业与人才培养。“我们的目标,是让深圳技术大学真正具备光电芯片全链条自主研发能力,同时服务深圳和大湾区产业完成研发、打样和中试。”

宁存政教授带领团队讨论实验平台建设相关问题

宁存政教授带领科研团队在建设完成的测试实验平台指导学术研究
如今,平台已形成覆盖图形化光刻、干湿法刻蚀、薄膜沉积、氧化掺杂、封装测试等完整工艺能力,可支撑VCSEL、DFB激光器、MEMS传感芯片等前沿器件研发。平台预计可帮助大湾区企业降低约50%的研发成本,研发周期缩短60%-80%。

洁净间实景图
“过去研发先进光电芯片时遇到的跨平台制造难题,如今终于在这里得到系统解决。”宁存政说。

落成仪式图

已取得的资质
半导体微纳加工中心和测试实验平台已于2025年12月正式落成,并全面投入教学、科研及产业服务。平台的建设成果也逐渐获得广东省集成电路与光电子领域认可,先后获批“广东省半导体与集成电路中试平台(筹)(光电芯片微纳加工及测试)”等四项省级科研与产业平台资质,标志着深技大已初步形成覆盖人才培养、科研创新与产业转化的集成光电子平台体系。
平台建设背后,是一群工程师从0到1的持续攻坚。
张玉龙是中心最早引进的工程师,现任深圳技术大学高级工程师,半导体微纳加工中心运营副总经理。拥有15年半导体器件研发经验,其中10年从事MEMS工艺开发。从实验室规划、经费申请、洁净间建设,到工艺线采购、规章制度建立,他几乎参与了平台建设的全部关键环节。

张玉龙(左三)带领工程师团队讨论施工方案

张玉龙带领团队进行环评答辩
团队最初面对的,是环评、设备选型、洁净间建设等一系列复杂问题。仅环评阶段,团队便梳理出70余种工艺物料;设备调研过程中,先后与多家国际厂商进行了上百轮技术沟通;而在洁净间建设阶段,近120台设备的二次配,涉及上万件管件与线缆,特气、真空、冷却水等系统交错如迷宫。

微纳中心运营工程师团队
“建设微纳中心,就像从一张白纸开始创业。”张玉龙回忆道,“很多时候是被问题推着往前走,但每解决一个接口问题、每消除一个安全隐患,大家心里就多一分踏实。”
也正是在这样的建设过程中,团队逐渐形成了一种共同的文化:没有职位距离感,更像一群共同创业的伙伴。许多人放弃企业高薪选择留下,只为参与一个真正属于中国高校自己的高端半导体平台建设。
如果说微纳加工决定芯片“能不能做出来”,那么测试平台则决定芯片“能不能真正用起来”。
梁璋现任深圳技术大学集成电路与光电芯片学院副研究员,是宁存政教授从清华大学原团队引进的核心成员,长期从事光电子材料与器件表征研究,在极端光学测量、光电器件测试与复杂光学系统搭建方面积累了丰富经验。
围绕建设国际先进水平集成光电子测试平台的目标,他参与了学院测试实验平台从规划到建设的全过程,在实验室选址论证、环境与振动控制设计、大型测试系统架构搭建及关键设备选型与集成等方面持续推进工作,将长期科研经验系统性融入平台工程化建设之中。
为了保证高精度光学测试稳定性,团队甚至放弃了部分已建成洁净间,在有限空间中重新选择距离地铁最远、楼层最低的位置建设实验室。
“很多问题没有现成答案,只能一点点摸索。”梁璋说,“白天盯施工现场,晚上讨论系统参数和测试方案,几乎每一个细节都需要反复推敲。”

梁璋(右)和同事唐嘉铖讨论测试方案和系统

梁璋带领研究生进行学术攻关
如今,平台已逐步形成覆盖光谱、电学、低温、瞬态动力学等方向的综合测试能力,可支撑硅光器件、半导体激光器、新型二维半导体器件等前沿研究。
更重要的是,这一平台并非依靠某一个研究方向单独完成,而是整个光电子教研团队长期协同建设的成果。围绕材料、器件、工艺、测试与系统集成等方向,团队逐渐形成了“开放共享、协同发展”的建设文化。
依托该平台开展的科研成果,已陆续发表于eLight、Laser & Photonics Reviews等国际高水平期刊,并持续服务海目星、昂纳科技集团、中光研究院等企业与科研机构。
与此同时,梁璋老师还积极推动平台与产业深度融合,为企业解决各种光电子测试方面的难题,他牵头与光峰科技共建联合实验室,并主导深圳市半导体检测装备重大科研项目,持续推动平台从科研能力向工程化与产业化能力延伸。
在宁存政教授看来,人才培养的核心,不是“学知识”,而是“解决问题”。
依托微纳加工与测试平台,深圳技术大学将真实工艺线、真实设备与真实产业项目引入教学体系,使学生能够在洁净间、实验线与科研项目中完成系统训练。
学生从低年级开始进入工程环境参与实践,研究生则深度参与平台运行与产业合作项目,在真实场景中理解芯片从设计到制造的全过程。
这种“平台即课堂、项目即教学”的模式,使学院逐渐形成面向产业的工程教育特色,也为高水平应用研究型大学建设提供了实践路径。

微纳中心3D效果图
如今,半导体微纳加工中心和测试实验平台已全面投入运行,持续服务科研、教学以及产业研发需求。
随着人工智能、大模型与数据中心快速发展,传统电子互连在带宽与功耗上的瓶颈日益明显,以硅光、光互连、光计算为代表的集成光电子技术,正在成为下一代基础设施的重要方向。而高水平微纳加工与测试平台,正是支撑这些核心技术发展的底层能力。
在AI算力急速增长、光电芯片日益重要的大背景下,深圳技术大学建设的不仅是一个实验平台,更是在为大湾区未来集成光电子产业布局关键基础设施,为20+8产业集群的“光载信息”和“智能传感”产业提供了重要的支撑平台,也为国家高端光电芯片自主可控体系建设夯实底座。
深圳技术大学为光电集成提供了一片不同于传统高校的发展土壤——这所因产业而生、面向未来技术而建的应用研究型大学,正在探索一条更加贴近国家战略需求与产业发展需求的新型高等教育道路。所有参与半导体全链条平台建设的深技大人始终坚信:这个从“一张白纸”上逐步绘出的“芯”平台,未来将成长为支撑深圳乃至粤港澳大湾区集成光电子与AI算力产业发展的重要科技策源地。
集成电路与光电芯片学院
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